簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "方劭云".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="解析度增強技術"


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    應用基因演算法於含次級解析輔助特徵圖案之光學鄰近修正技術
    • 自動化及控制研究所 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃鈺儒 指導教授: 郭鴻飛
    • 由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難,無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產,因此吸引許多研究者尋找改善方案,其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
    • 點閱:943下載:23

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    基於機器學習之光源最佳化設計
    • 自動化及控制研究所 /109/ 碩士
    • 研究生: 李昱明 指導教授: 郭鴻飛
    • 近幾十年來半導體業廣泛應用微影技術將電路設計的圖形轉印至矽晶圓基板上,但隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮,物理的極限以及因越趨複雜的設計進而產生的曝光缺陷皆是製程上必須…
    • 點閱:363下載:0
    • 全文公開日期 2024/10/18 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/10/18 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/10/18 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    動態隨機存取記憶體元件圖案之光學鄰近修正演算程序開發
    • 自動化及控制研究所 /108/ 碩士
    • 研究生: 甘偉銘 指導教授: 郭鴻飛
    • 在各國因應物聯網、大數據、高效能運算等的市場開發,仰賴大量DRAM 元件所需要大量計算及記憶體空間,隨著對DRAM 的需求增加和引入升級產品的需求,DRAM 市場將在未來幾年見證增長,全球市場競爭激…
    • 點閱:446下載:2
    • 全文公開日期 2021/01/17 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/01/17 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/01/17 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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